বিস্তারিত বিবরণ
ক্লিনরুম রেটেড ক্যাবল কী?
ক্লিনরুম রেটেড ক্যাবল হলো একটি ফ্লেক্সিবল মাল্টি-কোর ক্যাবল, যেখানে প্রতিটি ম্যাটেরিয়াল — ইনসুলেশন, ফিলার, বাইন্ডার টেপ, জ্যাকেট, কালার কনসেনট্রেট এবং প্যাকেজিং — নির্বাচিত, পরীক্ষিত ও নিয়ন্ত্রিত হয় যাতে ক্লিনরুম পরিবেশের দূষণ সর্বনিম্ন হয়। ক্যাবল এমন পার্টিকেল নির্গত করে না যা ক্লিনরুমের পার্টিকুলেট কাউন্ট বাড়াবে (ISO 14644-1)। এটি ভোলাটাইল অর্গানিক কম্পাউন্ড (VOC) আউটগ্যাস করে না, যা ওয়েফার পৃষ্ঠ, অপটিক্যাল কম্পোনেন্ট বা ফার্মাসিউটিক্যাল পণ্য সংস্পর্শ পৃষ্ঠে জমবে (ISO 14644-8)। এতে সেমিকন্ডাক্টর ফটোলিথোগ্রাফি প্রক্রিয়া দূষিত করবে এমন সিলিকন (PDMS — পলিডাইমিথাইলসাইলোক্সেন) নেই। এবং জ্যাকেটটি নির্দিষ্ট ক্লিনরুম অ্যাপ্লিকেশনে ব্যবহৃত ক্লিনিং ও স্টেরিলাইজেশন রাসায়নিক প্রতিরোধ করার জন্য তৈরি।
সেমিকন্ডাক্টর ক্লিনরুমে ইনস্টল করা একটি স্ট্যান্ডার্ড ইন্ডাস্ট্রিয়াল ক্যাবল সব দিক থেকেই ব্যর্থ হবে: PVC জ্যাকেটের প্লাস্টিসাইজার পৃষ্ঠে উঠে আসে, পার্টিকেল আটকায়; PVC ফ্থালেট ও অন্যান্য VOC আউটগ্যাস করে; জ্যাকেট পৃষ্ঠ অণুবীক্ষণিকভাবে রুক্ষ, যা পার্টিকেল আনুগত্যের স্থান দেয়; ম্যানুফ্যাকচারিং প্রক্রিয়ায় কন্ডাক্টর ড্রয়িং ও স্ট্র্যান্ডিংয়ে সিলিকন লুব্রিকেন্ট ব্যবহৃত হয়; এবং কাঠের রিল ও কার্ডবোর্ড প্যাকেজিং ক্লিনরুমে ফাইবার ও পার্টিকুলেট প্রবেশ করায়। ক্লিনরুম ক্যাবল এই প্রতিটি দূষণের উৎস দূর করার জন্য ডিজাইন করা।
সিলিকন-মুক্ত কেন গুরুত্বপূর্ণ — সেমিকন্ডাক্টর দূষণের সমস্যা
সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে, ফটোলিথোগ্রাফির সময় একটি মাত্র সিলিকন অণু (PDMS, আণবিক ওজন 300–10 000 g/mol) ওয়েফারে পড়লে এমন একটি ত্রুটি তৈরি হয় যা পুরো ডাইকে অকার্যকর করে দিতে পারে। PDMS বিশেষভাবে সমস্যাযুক্ত দূষক কারণ:
- এটি অত্যন্ত সারফেস-অ্যাক্টিভ — ওয়েফার পৃষ্ঠে PDMS-এর এক স্তর সারফেস এনার্জি পরিবর্তন করে এবং অভিন্ন ফটোরেজিস্ট কোটিং প্রতিরোধ করে
- এটি সেমিকন্ডাক্টর প্রসেস চেম্বারের (CVD, PVD, এচ) উচ্চ তাপমাত্রায় ভোলাটাইল এবং দূষিত পৃষ্ঠ থেকে গ্যাস ফেজের মাধ্যমে পরিষ্কার ওয়েফারে স্থানান্তরিত হতে পারে
- এটি অপসারণ করা কঠিন — PDMS জলে দ্রবণীয় নয় এবং পৃষ্ঠ থেকে অপসারণের জন্য আক্রমণাত্মক ক্লিনিং (পিরানহা দ্রবণ — H₂SO₄/H₂O₂) প্রয়োজন
- এটি সর্বব্যাপী — অনেক শিল্প প্রক্রিয়ায় সিলিকন লুব্রিকেন্ট হিসেবে ব্যবহৃত হয়, যার মধ্যে স্ট্যান্ডার্ড ক্যাবল ম্যানুফ্যাকচারিংও রয়েছে (কন্ডাক্টর ড্রয়িং ডাইতে সিলিকন তেল, এক্সট্রুশন টুলিংয়ে সিলিকন রিলিজ এজেন্ট)
কেন Yichi ক্লিনরুম রেটেড ক্যাবল বেছে নেবেন
- সিলিকন-মুক্ত যাচাইকৃত — অনুরোধে FTIR/XRF বিশ্লেষণ: ক্যাবলের প্রতিটি ম্যাটেরিয়াল রাসায়নিক বিশ্লেষণে সিলিকন-মুক্ত যাচাই করা হয়। প্রস্তুত ক্যাবল পরীক্ষা করা হয় নিশ্চিত করতে যে ম্যানুফ্যাকচারিং প্রক্রিয়ার সময় কোনো সিলিকন দূষণ প্রবেশ করেনি। প্রতিটি ক্যাবল ব্যাচের সাথে সিলিকন-মুক্ত সার্টিফিকেট প্রদান করা হয়
- PUR, LSZH বা FEP জ্যাকেট — ক্লিনরুম রাসায়নিক পরিবেশের জন্য নির্বাচন করুন: ফার্মাসিউটিক্যাল, বায়োটেক ও মেডিকেল ডিভাইস ক্লিনরুমের জন্য PUR, যেখানে ক্যাবল হাইড্রোজেন পারক্সাইড ভেপার ও কোয়াটারনারি অ্যামোনিয়াম ডিসইনফেক্ট্যান্টের সংস্পর্শে আসে। অগ্নি নিরাপত্তা অগ্রাধিকার এবং রাসায়নিক এক্সপোজার মাঝারি এমন ক্লিনরুমের জন্য LSZH। সর্বোচ্চ রাসায়নিক পিউরিটি ও সর্বনিম্ন আউটগ্যাসিং প্রয়োজন এমন সেমিকন্ডাক্টর ক্লিনরুমের জন্য FEP, যেখানে ক্যাবল দূষণের কারণে সৃষ্ট ওয়েফার ত্রুটির খরচের তুলনায় দামের প্রিমিয়াম ন্যায্য
- মসৃণ, নন-পোরাস জ্যাকেট পৃষ্ঠ — পলিশড ডাই এক্সট্রুশন: জ্যাকেট সারফেস ফিনিশ প্রসাধনী বৈশিষ্ট্য নয় — এটি ক্লিনরুম ক্যাবলের কার্যকরী প্রয়োজনীয়তা। গ্লসি, নন-পোরাস পৃষ্ঠ (Ra <1.0 μm) পার্টিকেল আনুগত্য সর্বনিম্ন করে এবং ক্লিনরুম ওয়াইপার ও IPA দিয়ে পার্টিকেল নির্গত বা অবশিষ্টাংশ না রেখে ক্যাবল মুছে পরিষ্কার করতে দেয়
- ক্লিনরুম-সামঞ্জস্যপূর্ণ প্যাকেজিং — ক্লিনরুম প্রবেশের জন্য ডাবল-ব্যাগড: ক্যাবল প্লাস্টিক রিলে রিল করা, পলিথিন ব্যাগে সিল করা এবং ক্লিনরুমে প্রবেশের জন্য ডাবল-ব্যাগ করা হয়। গ্রে এরিয়ায় (ক্লিনরুম অ্যান্টিরুম/এয়ারলক) বাইরের ব্যাগ সরানো হয়, আর ভেতরের ব্যাগ ক্লিনরুমের ভেতরে সরানো হয়। ক্যাবল বাইরের দূষণ বহন না করেই ক্লিনরুমে প্রবেশ করে
- ASTM E595 / SEMI E49 আউটগ্যাসিং টেস্টেড: ক্যাবলের জ্যাকেট ও ইনসুলেশন ম্যাটেরিয়াল সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের স্ট্যান্ডার্ড টেস্ট পদ্ধতি অনুযায়ী আউটগ্যাসিংয়ের জন্য পরীক্ষিত হয়। টেস্ট রিপোর্ট TML (<1.0%) ও CVCM (<0.1%) পরিমাণ নির্ধারণ করে এবং প্রদর্শন করে যে ক্যাবল গ্রাহকের ক্লিনরুম ISO ক্লাস ও প্রসেস সংবেদনশীলতার জন্য আউটগ্যাসিং সীমা পূরণ করে