Кабель для чистых помещений — совместимый с ISO 14644 многожильный гибкий кабель с низким газовыделением, низкой генерацией частиц, без силикона, в безгалогенной оболочке LSZH или PUR с гладкой неосыпающейся поверхностью для питания, управления и КИП-проводки оборудования полупроводниковых фабрик, фармацевтики, биотехнологий и прецизионных производств
Промышленные, горнодобывающие и контрольные кабели /Кабели для чистых помещений

Кабель для чистых помещений — совместимый с ISO 14644 многожильный гибкий кабель с низким газовыделением, низкой генерацией частиц, без силикона, в безгалогенной оболочке LSZH или PUR с гладкой неосыпающейся поверхностью для питания, управления и КИП-проводки оборудования полупроводниковых фабрик, фармацевтики, биотехнологий и прецизионных производств

Кабель для чистых помещений: совместимость с ISO 14644, низкое газовыделение, низкая генерация частиц, без силикона. Гладкая оболочка LSZH или PUR, многожильный гибкий. Для проводки оборудования полупроводниковых фабрик, фармацевтики, биотехнологий. Неосыпающийся, совместимый с чистыми помещениями материал. CE, RoHS.

Основные Характеристики

Совместимость с чистыми помещениями по ISO 14644 — материалы кабеля, качество поверхности оболочки и упаковка подбираются и контролируются для минимизации генерации частиц, газовыделения и загрязнения среды чистого помещения; кабель не выделяет волокон, частиц или химических загрязнителей, которые могли бы нарушить класс ISO чистого помещения
Гладкая, беспористая, неосыпающаяся наружная оболочка из PUR или LSZH — поверхность оболочки экструдируется с гладким глянцевым покрытием, которое не удерживает частицы и может быть протёрто средствами очистки, совместимыми с чистым помещением; ПВХ-оболочки (пластификаторы которых мигрируют на поверхность и удерживают частицы) и оплёточные оболочки (которые выделяют волокна) не подходят для чистых помещений
Без силикона — кабель не содержит силиконовой резины, силиконовых смазок или силиконовых разделительных агентов ни в одном компоненте; газовыделение силикона (низкомолекулярные силоксаны) конденсируется на поверхностях пластин в полупроводниковых фабриках, вызывая дефекты в процессах фотолитографии и нанесения тонких плёнок; кабель без силикона обязателен для применений в полупроводниковых чистых помещениях
Низкое газовыделение — оболочка, изоляция и заполнители кабеля разработаны и испытаны на низкую эмиссию летучих органических соединений (ЛОС) по SEMI E49 / ASTM E595 / ISO 14644-8; выделяющиеся органические соединения конденсируются на оптических поверхностях, поверхностях пластин и контактных поверхностях фармацевтической продукции, вызывая загрязнение
Безгалогенная оболочка LSZH или PUR — LSZH для пожарной безопасности в закрытых средах чистых помещений, где галогеноводородный газ от пожара ПВХ-кабеля загрязнил бы всё чистое помещение и потребовал бы месяцев дезактивации; PUR для применений, где кабель подвергается воздействию химикатов для очистки и стерилизации, используемых в фармацевтических и биотехнологических чистых помещениях (пары перекиси водорода, надуксусная кислота, изопропиловый спирт)
Многожильная гибкая конструкция с контролируемым наружным диаметром — кабель разработан для прокладки в ограниченных пространствах инструментов обработки полупроводников, фармацевтических линий розлива и оборудования чистых помещений, где пространство ограничено, а кабель не должен препятствовать ламинарному воздушному потоку
Упакован в материалы, совместимые с чистыми помещениями — кабель поставляется на пластиковых (не деревянных) барабанах, запечатан в полиэтиленовые пакеты, а фланцы барабана и упаковка не содержат материалов, выделяющих частицы (картон, бумажные этикетки, свободные волокна); кабель может вноситься в чистое помещение непосредственно, без внешнего этапа дезактивации
Стойкость к средствам очистки чистых помещений — оболочка PUR или LSZH выдерживает многократное протирание изопропиловым спиртом (IPA), перекисью водорода и четвертичными аммониевыми дезинфектантами без деградации поверхности, растрескивания или повышения генерации частиц

Применение

Оборудование для производства полупроводников — кабель для чистых помещений для роботов подачи пластин, КИП технологических камер, соединений вакуумных насосов и внутренней проводки литографических инструментов, где газовыделение силикона вызвало бы дефекты пластин, а кабель должен выдерживать химическую и температурную среду чистого помещенияФармацевтические линии розлива и упаковки — кабель для асептических машин розлива, укупорочных машин, этикетировочного оборудования и конвейерных систем в фармацевтических чистых помещениях класса ISO 5–7; кабель должен выдерживать пары перекиси водорода (VHP), используемые для стерилизации помещений и оборудования, и быть совместимым с протоколами очистки и дезинфекции чистого помещенияБиотехнологические и лаборатории наук о жизни — кабель для соединений центрифуг, инкубаторов, ПЦР-машин и аналитических приборов в биотехнологических чистых помещениях, где кабель не должен выделять соединения, загрязняющие биологические образцы или мешающие чувствительным аналитическим измерениямПроизводство медицинских изделий — кабель для сборочного и испытательного оборудования в чистых помещениях при производстве медицинских изделий (катетеры, имплантаты, хирургические инструменты), где среда чистого помещения требует кабеля с низкой генерацией частиц и химической стойкостьюПроизводство плоскопанельных дисплеев и фотоэлектрических модулей — кабель для чистых помещений для технологических инструментов и систем обработки материалов на предприятиях FPD и солнечных элементов, где кабель не должен загрязнять стеклянную подложку или кремниевую пластину частицами, выделяющимися органикой или силикономАэрокосмическая и прецизионная оптическая сборка — кабель для сборки и испытаний в чистых помещениях компонентов спутников, оптических систем и прецизионных механических узлов, где кабель должен соответствовать тем же стандартам контроля загрязнения, что и собираемые изделияАсептическая переработка пищевых и напиточных продуктов — кабель для электрических служб асептического оборудования розлива и упаковки в чистых помещениях пищевых и напиточных производств, где кабель должен выдерживать влажную, химически агрессивную среду очистки (пенная очистка, химикаты CIP, мойка водой под давлением)

Технические Характеристики

Совместимость с чистыми помещениями ISO 14644-1 (Классификация чистых помещений — чистота по частицам); ISO 14644-8 (Классификация аэрозольных молекулярных загрязнений); SEMI E49 (Руководство по оценке материалов для оборудования производства полупроводников — газовыделение и совместимость материалов); кабель разработан для сред чистых помещений класса ISO 3–7 (класс 3 для полупроводниковой фабрики, класс 5–7 для фармацевтики и медицинских изделий)
Отсутствие силикона Кабель не содержит силикона (полидиметилсилоксан, PDMS) в изоляции, оболочке, заполнителях, цветных концентратах или любых технологических вспомогательных средствах; содержание силикона проверяется методом ИК-спектроскопии с Фурье-преобразованием (FTIR) или рентгенофлуоресцентного анализа (XRF) по спецификации заказчика
Низкое газовыделение — ASTM E595 Полная потеря массы (TML) <1,0 %; Конденсируемый летучий материал (CVCM) <0,1 % по ASTM E595 (стандартное испытание газовыделения материалов космических аппаратов — принято полупроводниковой промышленностью для квалификации материалов чистых помещений); испытание измеряет массу материала, испаряющегося с кабеля в вакууме при 125°C и конденсирующегося на охлаждаемой коллекторной пластине
Номинальное напряжение 300/500 В (стандарт для цепей управления и КИП оборудования чистых помещений); 0,6/1 кВ доступно для силовых кабелей технологических инструментов
Материал жилы Голая или лужёная медь; гибкая многопроволочная класса 5 по IEC 60228; жила чистая — без поверхностных оксидов и смазок волочения, которые могли бы способствовать газовыделению или генерации частиц
Сечения жил 0,5, 0,75, 1,0, 1,5, 2,5, 4, 6, 10, 16, 25, 35 мм² для силовых/контрольных; 0,22, 0,34, 0,50, 0,75 мм² для сигнальных и КИП-цепей
Количество жил 2–37 жил по спецификации проводки оборудования заказчика
Изоляция жил — ПП/ПЭ (стандарт) Полипропилен (ПП) или полиэтилен (ПЭ); 75–90°C; безгалогенная; тонкостенная изоляция минимизирует наружный диаметр кабеля, обеспечивая номинал диэлектрика 300/500 В
Изоляция жил — FEP/PTFE (высокотемпературная/химическая) Фторированный этиленпропилен (FEP) или политетрафторэтилен (PTFE); 150–200°C; для проводки технологических инструментов полупроводникового производства, где кабель подвергается повышенным температурам (камеры обработки пластин, обогреваемые линии подачи химикатов) и агрессивным химикатам (HF, HCl, NH₃, силан)
Идентификация жил Пронумерованные чёрные жилы по VDE 0293 (стандарт для проводки оборудования чистых помещений); цветовая маркировка по запросу; чернила нумерации или цветовая компаунд должны быть совместимы с чистыми помещениями — без носителей цвета на основе силикона
Общий экран (опция) Фольга алюминий/полиэстер (покрытие 100 %) + оплётка из лужёной меди (покрытие ≥85 %); для защиты от ЭМП чувствительных датчиковых и коммуникационных сигналов в электрически зашумлённой среде технологических инструментов полупроводникового производства (ВЧ-плазменные генераторы, СВЧ-источники питания, высокочастотные импульсные источники питания)
Наружная оболочка — PUR (стандарт) Полиуретан (PUR TMPU); Шор A 85–90; безгалогенный; гладкая глянцевая отделка поверхности; PUR — предпочтительная оболочка кабеля для чистых помещений, поскольку сочетает химическую стойкость (к средствам очистки и дезинфектантам чистых помещений), механическую прочность (стойкость к истиранию и изгибу) и совместимость с чистым помещением (гладкая поверхность, низкая генерация частиц, низкое газовыделение)
Наружная оболочка — LSZH Безгалогенная компаунд с низким дымовыделением; гладкая отделка; для кабелей чистых помещений, где приоритетом является пожарная безопасность (отсутствие галогенов в закрытой среде чистого помещения), а химическая стойкость к агрессивным средствам очистки не требуется
Наружная оболочка — FEP (высокой чистоты) Фторированный этиленпропилен; 200°C; химически инертен; оболочка самой высокой чистоты для самых требовательных применений в полупроводниковых чистых помещениях — FEP выделяет меньше газов, чем любой другой материал оболочки кабеля, и стоек ко всем технологическим химикатам полупроводникового производства
Цвет оболочки — стандарт Серый, чёрный или синий (стандартные цвета оборудования чистых помещений); белый по запросу для фармацевтических чистых помещений, где кабель должен сочетаться с белыми стенами и панелями оборудования чистого помещения
Отделка поверхности оболочки Гладкая, глянцевая, беспористая; оболочка экструдируется с полированной фильерой для получения поверхности, которая не удерживает частицы и может быть протёрта начисто; шероховатость поверхности Ra <1,0 мкм по ISO 4287, измеренная на оболочке кабеля
Испытание на частицы — опция Готовый кабель может быть испытан на выделение частиц по IEST-RP-CC003 (одежда и салфетки для чистых помещений), адаптированному для кабеля — кабель изгибается в контролируемой среде, а выделяющиеся частицы подсчитываются и классифицируются по размеру по ISO 14644-1; протокол испытаний доступен по запросу
Максимальное сопротивление жилы постоянному току при 20°C По IEC 60228, класс 5 для сечения жилы
Сопротивление изоляции при 20°C ≥100 МОм·км (при 500 В пост. тока, 1 мин)
Испытательное напряжение (перем. ток) — текущее 2 000 В перем. тока / 5 мин (300/500 В); 3 500 В перем. тока / 5 мин (0,6/1 кВ)
Температура — оболочка PUR (стационарно) от -50°C до +90°C
Температура — оболочка PUR (при изгибе) от -30°C до +80°C
Температура — оболочка LSZH (стационарно) от -30°C до +70°C
Минимальный радиус изгиба 7,5× наружного диаметра кабеля (изгиб при монтаже оборудования); 4× наружного диаметра кабеля (стационарная прокладка в оборудовании)
Химическая стойкость — PUR Хорошая стойкость к изопропиловому спирту (IPA), перекиси водорода (H₂O₂ до 30 %), четвертичным аммониевым дезинфектантам и надуксусной кислоте — стандартным средствам очистки и стерилизации чистых помещений; PUR повреждается сильными кислотами и щелочами — для сред полупроводниковых чистых помещений с воздействием HF, HCl или NH₃ указывайте оболочку FEP
Огнестойкость — LSZH/PUR IEC 60332-1-2
Отсутствие галогенов — PUR/LSZH IEC 60754-1 (HCl <0,5 %); PUR и LSZH по своей природе безгалогенные
Упаковка — совместимая с чистым помещением Пластиковый барабан (полипропилен или ABS — без дерева, выделяющего волокна и частицы); запечатанный полиэтиленовый пакет (термосвариваемый, не заклеенный лентой, выделяющей частицы); фланцы барабана чистые и без заусенцев; кабель изготавливается, наматывается и упаковывается в контролируемой производственной зоне (CEA) и упаковывается в двойной пакет для внесения в чистое помещение
Сертификаты CE; RoHS; протокол испытания газовыделения SEMI E49 / ASTM E595 по запросу; сертификат об отсутствии силикона по запросу; изготовлено по ISO 9001

Подробное Описание

Что такое кабель для чистых помещений?

Кабель для чистых помещений — это гибкий многожильный кабель, в котором каждый материал — изоляция, заполнитель, связующая лента, оболочка, цветной концентрат и упаковка — подбирается, испытывается и контролируется для минимизации загрязнения среды чистого помещения. Кабель не выделяет частицы, которые могли бы повысить счёт частиц в чистом помещении (ISO 14644-1). Он не выделяет летучие органические соединения (ЛОС), которые могли бы конденсироваться на поверхностях пластин, оптических компонентах или контактных поверхностях фармацевтической продукции (ISO 14644-8). Он не содержит силикона (PDMS — полидиметилсилоксана), который мог бы загрязнять процессы полупроводниковой фотолитографии. И оболочка разработана так, чтобы выдерживать химикаты для очистки и стерилизации, используемые в конкретном применении чистого помещения.

Стандартный промышленный кабель, установленный в полупроводниковом чистом помещении, провалил бы все проверки: пластификаторы ПВХ-оболочки мигрируют на поверхность, удерживая частицы; ПВХ выделяет фталаты и другие ЛОС; поверхность оболочки микроскопически шероховата, обеспечивая точки прикрепления частиц; в процессе производства используются силиконовые смазки при волочении и скрутке жил; а деревянный барабан и картонная упаковка вносят волокна и частицы в чистое помещение. Кабель для чистых помещений спроектирован так, чтобы устранить каждый из этих источников загрязнения.

Почему важно отсутствие силикона — проблема загрязнения в полупроводниковой промышленности

В полупроводниковом производстве одна молекула силикона (PDMS, молекулярная масса 300–10 000 г/моль), попавшая на пластину во время фотолитографии, создаёт дефект, который может сделать весь кристалл неработоспособным. PDMS — особенно проблемный загрязнитель, потому что:

  • Он чрезвычайно поверхностно активен — монослой PDMS на поверхности пластины меняет поверхностную энергию и препятствует равномерному нанесению фоторезиста
  • Он летуч при повышенных температурах технологических камер полупроводникового производства (CVD, PVD, травление) и может мигрировать с загрязнённой поверхности на чистую пластину через газовую фазу
  • Его трудно удалить — PDMS не растворим в воде и требует агрессивной очистки (пиранья — H₂SO₄/H₂O₂) для удаления с поверхностей
  • Он вездесущ — силикон используется как смазка во многих промышленных процессах, включая стандартное производство кабелей (силиконовое масло на фильерах волочения жил, силиконовые разделительные агенты на экструзионной оснастке)
Кабель для чистых помещений, изготовленный с безсиликоновыми материалами и процессами, устраняет этот риск загрязнения. Сертификация «без силикона» означает, что каждый материал в кабеле — от медной жилы до цветного концентрата оболочки — проверен анализом FTIR или XRF на отсутствие обнаружимого силикона. В процессе производства используются несодержащие силикон смазки и разделительные агенты. И кабель испытывается как готовое изделие для подтверждения того, что во время производства не было внесено силиконового загрязнения.

Почему стоит выбрать кабели для чистых помещений от Yichi

  • Отсутствие силикона подтверждено — FTIR/XRF анализ по запросу: каждый материал в кабеле проверяется на отсутствие силикона химическим анализом. Готовый кабель испытывается для подтверждения того, что во время производства не было внесено силиконового загрязнения. Сертификат об отсутствии силикона прилагается к каждой партии кабеля
  • Оболочка PUR, LSZH или FEP — выбирайте под химическую среду чистого помещения: PUR для фармацевтических, биотехнологических чистых помещений и чистых помещений производства медицинских изделий, где кабель подвергается воздействию паров перекиси водорода и четвертичных аммониевых дезинфектантов. LSZH для чистых помещений, где приоритетом является пожарная безопасность, а химическое воздействие умеренное. FEP для полупроводниковых чистых помещений, где требуются высочайшая химическая чистота и минимальное газовыделение, а ценовая надбавка оправдана стоимостью дефектов пластин, вызванных загрязнением кабелем
  • Гладкая беспористая поверхность оболочки — экструзия полированной фильерой: качество поверхности оболочки — не косметическая характеристика, а функциональное требование для кабеля чистых помещений. Глянцевая беспористая поверхность (Ra <1,0 мкм) минимизирует адгезию частиц и позволяет протирать кабель салфетками для чистых помещений и IPA без выделения частиц или оставления остатков
  • Совместимая с чистым помещением упаковка — в двойном пакете для внесения в чистое помещение: кабель наматывается на пластиковые барабаны, запечатывается в полиэтиленовые пакеты и упаковывается в двойной пакет для внесения в чистое помещение. Наружный пакет снимается в серой зоне (предчистовой/шлюз чистого помещения), а внутренний пакет снимается уже внутри чистого помещения. Кабель попадает в чистое помещение, не неся внешнего загрязнения
  • Испытание на газовыделение по ASTM E595 / SEMI E49: материалы оболочки и изоляции кабеля испытываются на газовыделение по стандартным методам испытаний полупроводниковой промышленности. Протокол испытаний количественно определяет TML (<1,0 %) и CVCM (<0,1 %) и демонстрирует, что кабель удовлетворяет пределам газовыделения для класса ISO чистого помещения заказчика и чувствительности процесса

Сопутствующие Товары

Промышленный кабель управления

Промышленные, горнодобывающие и контрольные кабели

Промышленный кабель КИПиА

Промышленные, горнодобывающие и контрольные кабели

Медицинский и промышленный кабель датчиков

Промышленные, горнодобывающие и контрольные кабели

Безгалогенный кабель

Огнестойкие, высокотемпературные и LSZH кабели

Гибкий силиконовый кабель

Огнестойкие, высокотемпературные и LSZH кабели
Назад к Промышленные, горнодобывающие и контрольные кабели (21 доступных моделей)

Запрос по Товару

Продукт: Кабель для чистых помещений — совместимый с ISO 14644 многожильный гибкий кабель с низким газовыделением, низкой генерацией частиц, без силикона, в безгалогенной оболочке LSZH или PUR с гладкой неосыпающейся поверхностью для питания, управления и КИП-проводки оборудования полупроводниковых фабрик, фармацевтики, биотехнологий и прецизионных производств

Добавить технические характеристики (необязательно)

Чем подробнее вы опишете задачу, тем быстрее и точнее мы подготовим предложение.

Файл не выбран

PDF, Office, изображение или CAD-файл — до 5 МБ

Нужна Помощь?

sales@mdnfactory.com +86 13585719693
Zhejiang, China

Сертификаты

ISO 9001
Качество
CE
Европейский
RoHS
Экологический
TÜV
Сертификация

Нужен Расчёт для Этого Продукта?

Отправьте нам ваши требования и получите подробный расчёт в течение 24 часов.

Бесплатный Расчёт Связаться с Нами