คำอธิบายโดยละเอียด
สาย เคเบิล พิกัด คลีนรูม คือ อะไร
สาย เคเบิล พิกัด คลีนรูม คือ สาย ยืดหยุ่น หลาย แกน ที่ ทุก วัสดุ — ฉนวน, วัสดุ อุด, เทป พัน, เปลือก, สี เข้ม ข้น และ บรรจุ ภัณฑ์ — ถูก เลือก, ทดสอบ และ ควบคุม เพื่อ ลด การ ปน เปื้อน ของ สภาพ แวด ล้อม คลีนรูม สาย ไม่ หลุด ร่อน อนุภาค ที่ จะ เพิ่ม จำนวน อนุภาค ของ คลีนรูม (ISO 14644-1) สาย ไม่ ปล่อย สาร ประกอบ อินทรีย์ ระเหย (VOC) ที่ จะ ควบ แน่น บน ผิว เวเฟอร์, ชิ้น ส่วน ออปติก หรือ ผิว สัมผัส ผลิตภัณฑ์ ยา (ISO 14644-8) สาย ไม่ มี ซิลิโคน (PDMS — พอลิไดเมทิลไซลอกเซน) ที่ จะ ปน เปื้อน กระบวน การ โฟโตลิโทกราฟี เซมิคอนดักเตอร์ และ เปลือก ถูก สูตร ให้ ทน สาร เคมี ทำ ความ สะอาด และ ฆ่า เชื้อ ที่ ใช้ ใน การ ประยุกต์ ใช้ คลีนรูม นั้น
สาย เคเบิล อุตสาหกรรม มาตรฐาน ที่ ติด ตั้ง ใน คลีนรูม เซมิคอนดักเตอร์ จะ ล้ม เหลว ทุก ด้าน: พลาสติไซเซอร์ ของ เปลือก PVC เคลื่อน ไป ผิว, กัก อนุภาค; PVC ปล่อย พทาเลต และ VOC อื่น ๆ; ผิว เปลือก หยาบ ใน ระดับ จุลภาค, เป็น จุด ยึด เกาะ อนุภาค; กระบวน การ ผลิต ใช้ สาร หล่อ ลื่น ซิลิโคน ใน การ รีด และ ตี เกลียว ตัวนำ; และ รีล ไม้ กับ บรรจุ ภัณฑ์ กระดาษ แข็ง นำ เส้น ใย และ อนุภาค เข้า คลีนรูม สาย เคเบิล คลีนรูม ออก แบบ เพื่อ ขจัด แหล่ง การ ปน เปื้อน แต่ ละ อย่าง เหล่า นี้
ทำไม การ ปลอด ซิลิโคน จึง สำคัญ — ปัญหา การ ปน เปื้อน เซมิคอนดักเตอร์
ใน การ ผลิต เซมิคอนดักเตอร์ โมเลกุล ซิลิโคน เพียง โมเลกุล เดียว (PDMS, น้ำหนัก โมเลกุล 300–10 000 กรัม/โมล) ตก ลง บน เวเฟอร์ ระหว่าง โฟโตลิโทกราฟี สร้าง ข้อ บกพร่อง ที่ ทำให้ ชิป ทั้ง ลูก ใช้ การ ไม่ ได้ PDMS เป็น สาร ปน เปื้อน ที่ เป็น ปัญหา โดย เฉพาะ เพราะ:
- มัน ไว ต่อ พื้น ผิว อย่าง ยิ่ง — ชั้น เดียว ของ PDMS บน ผิว เวเฟอร์ เปลี่ยน พลังงาน ผิว และ ป้องกัน การ เคลือบ โฟโตรีซิสต์ แบบ สม่ำเสมอ
- มัน ระเหย ได้ ที่ อุณหภูมิ สูง ของ ห้อง กระบวน การ เซมิคอนดักเตอร์ (CVD, PVD, etch) และ สามารถ เคลื่อน ย้าย จาก ผิว ที่ ปน เปื้อน ไป ยัง เวเฟอร์ สะอาด ผ่าน เฟส แก๊ส
- มัน กำจัด ยาก — PDMS ไม่ ละลาย ใน น้ำ และ ต้อง ใช้ การ ทำ ความ สะอาด รุนแรง (สาร ละลาย พิรันฮา — H₂SO₄/H₂O₂) เพื่อ เอา ออก จาก ผิว
- มัน แพร่ หลาย — ซิลิโคน ใช้ เป็น สาร หล่อ ลื่น ใน กระบวน การ อุตสาหกรรม หลาย อย่าง, รวม ทั้ง การ ผลิต สาย เคเบิล มาตรฐาน (น้ำมัน ซิลิโคน บน ดาย รีด ตัวนำ, สาร ปลด แม่พิมพ์ ซิลิโคน บน เครื่อง มือ เอกซ์ทรูเดด)
ทำไม จึง เลือก สาย เคเบิล พิกัด คลีนรูม Yichi
- ปลอด ซิลิโคน ยืน ยัน — การ วิเคราะห์ FTIR/XRF ตาม คำ ขอ: ทุก วัสดุ ใน สาย ถูก ยืน ยัน ปลอด ซิลิโคน ด้วย การ วิเคราะห์ ทาง เคมี สาย สำเร็จ รูป ถูก ทดสอบ เพื่อ ยืน ยัน ว่า ไม่ มี การ ปน เปื้อน ซิลิโคน เข้า มา ระหว่าง กระบวน การ ผลิต ใบ รับรอง ปลอด ซิลิโคน มอบ ให้ พร้อม ทุก ล็อต สาย
- เปลือก PUR, LSZH หรือ FEP — เลือก ตาม สภาพ แวด ล้อม เคมี คลีนรูม: PUR สำหรับ คลีนรูม ยา, ไบโอเทค และ อุปกรณ์ การ แพทย์ ที่ สาย สัมผัส ไอ ไฮโดรเจน เพอร์ออกไซด์ และ น้ำ ยา ฆ่า เชื้อ แอมโมเนียม ควอเทอร์นารี LSZH สำหรับ คลีนรูม ที่ ความ ปลอดภัย อัคคีภัย สำคัญ และ การ สัมผัส สาร เคมี ปานกลาง FEP สำหรับ คลีนรูม เซมิคอนดักเตอร์ ที่ ต้อง การ ความ บริสุทธิ์ ทาง เคมี สูงสุด และ การ ปล่อย สาร ระเหย ต่ำสุด และ ส่วน ต่าง ราคา คุ้ม กับ ต้น ทุน ข้อ บกพร่อง เวเฟอร์ ที่ เกิด จาก การ ปน เปื้อน สาย
- ผิว เปลือก เรียบ, ไม่ มี รูพรุน — เอกซ์ทรูเดด ดาย ขัด เงา: ผิว สำเร็จ เปลือก ไม่ ใช่ ลักษณะ เพื่อ ความ สวยงาม — มัน คือ ข้อ ต้อง การ เชิง ฟังก์ชัน สำหรับ สาย คลีนรูม ผิว มัน, ไม่ มี รูพรุน (Ra <1.0 μm) ลด การ ยึด เกาะ อนุภาค และ ให้ เช็ด สาย ทำ ความ สะอาด ด้วย ผ้า เช็ด คลีนรูม และ IPA โดย ไม่ ปล่อย อนุภาค หรือ ทิ้ง คราบ
- บรรจุ ภัณฑ์ เข้ากัน ได้ กับ คลีนรูม — ใส่ ถุง สอง ชั้น สำหรับ การ นำ เข้า คลีนรูม: สาย ม้วน บน รีล พลาสติก, ซีล ใน ถุง โพลีเอทิลีน และ ใส่ ถุง สอง ชั้น สำหรับ การ นำ เข้า คลีนรูม ถุง นอก ถูก เอาออก ใน พื้น ที่ เทา (ห้อง พัก คลีนรูม/ห้อง ลม), และ ถุง ใน ถูก เอาออก ภายใน คลีนรูม สาย เข้า คลีนรูม โดย ไม่ นำ การ ปน เปื้อน ภายนอก
- ทดสอบ การ ปล่อย สาร ระเหย ASTM E595 / SEMI E49: วัสดุ เปลือก และ ฉนวน สาย ถูก ทดสอบ การ ปล่อย สาร ระเหย ตาม วิธี ทดสอบ มาตรฐาน ของ อุตสาหกรรม เซมิคอนดักเตอร์ รายงาน การ ทดสอบ ระบุ ปริมาณ TML (<1.0%) และ CVCM (<0.1%) และ แสดง ให้ เห็น ว่า สาย ผ่าน เกณฑ์ การ ปล่อย สาร ระเหย สำหรับ คลาส ISO และ ความ ไว ต่อ กระบวน การ ของ คลีนรูม ลูกค้า