Detaylı Açıklama
Temiz Oda Sınıfı Kablo Nedir?
Temiz oda sınıfı kablo, izolasyon, dolgu, sargı bandı, kılıf, renk konsantresi ve ambalaj dahil her malzemesi, temiz oda ortamının kontaminasyonunu en aza indirecek şekilde seçilen, test edilen ve kontrol edilen esnek bir çok çekirdekli kablodur. Kablo, temiz odanın partikül sayısını artıracak partiküller dökmez (ISO 14644-1). Gofret yüzeylerinde, optik bileşenlerde veya ilaç ürün temas yüzeylerinde yoğuşacak uçucu organik bileşikler (VOC'ler) salmaz (ISO 14644-8). Yarı iletken fotolitografi süreçlerini kirletecek silikon (PDMS — polidimetilsiloksan) içermez. Kılıf ise, ilgili temiz oda uygulamasında kullanılan temizlik ve sterilizasyon kimyasallarına dayanacak şekilde formüle edilmiştir.
Bir yarı iletken temiz odasına kurulan standart bir endüstriyel kablo her açıdan yetersiz kalır: PVC kılıfın plastikleştiricileri yüzeye göç ederek partikül tutar; PVC ftalatlar ve diğer VOC'ler salar; kılıf yüzeyi mikroskobik olarak pürüzlüdür ve partikül tutunma bölgeleri oluşturur; üretim süreci iletken çekme ve büküm işlemlerinde silikon yağlayıcılar kullanır; ahşap makara ve karton ambalaj temiz odaya lif ve partikül getirir. Temiz oda kablosu, bu kontaminasyon kaynaklarının her birini ortadan kaldıracak şekilde tasarlanmıştır.
Silikon İçermemek Neden Önemlidir — Yarı İletken Kontaminasyon Sorunu
Yarı iletken üretiminde, fotolitografi sırasında bir gofretin üzerine düşen tek bir silikon molekülü (PDMS, moleküler ağırlık 300–10 000 g/mol), tüm yongayı işlevsiz hale getirebilecek bir kusur oluşturur. PDMS özellikle sorunlu bir kirleticidir çünkü:
- Son derece yüzey aktiftir — gofret yüzeyindeki tek tabakalık PDMS, yüzey enerjisini değiştirir ve düzgün fotorezist kaplamayı engeller
- Yarı iletken proses odalarının (CVD, PVD, etch) yüksek sıcaklıklarında uçucudur ve kontamine bir yüzeyden gaz fazı yoluyla temiz bir gofrete göç edebilir
- Temizlenmesi zordur — PDMS suda çözünmez ve yüzeylerden uzaklaştırılması için agresif temizlik (piranha çözeltisi — H₂SO₄/H₂O₂) gerektirir
- Her yerde bulunur — silikon, standart kablo üretimi dahil birçok endüstriyel süreçte yağlayıcı olarak kullanılır (iletken çekme kalıplarında silikon yağı, ekstrüzyon takımlarında silikon kalıp ayırıcılar)
Neden Yichi Temiz Oda Sınıfı Kabloları Tercih Etmelisiniz
- Silikon içermediği doğrulanmış — talep üzerine FTIR/XRF analizi: Kablodaki her malzeme, kimyasal analizle silikon içermediği doğrulanır. Bitmiş kablo, üretim süreci sırasında silikon kontaminasyonu girmediğini doğrulamak için test edilir. Her kablo partisiyle birlikte silikon içermez sertifikası verilir
- PUR, LSZH veya FEP kılıf — temiz oda kimyasal ortamına göre seçim: Kablosunun hidrojen peroksit buharına ve kuaterner amonyum dezenfektanlara maruz kaldığı ilaç, biyoteknoloji ve tıbbi cihaz temiz odaları için PUR. Yangın güvenliğinin öncelikli olduğu ve kimyasal maruziyetin orta düzeyde olduğu temiz odalar için LSZH. En yüksek kimyasal saflığın ve en düşük gaz salınımının gerektiği ve maliyet farkının kablo kontaminasyonunun neden olduğu gofret kusurlarının maliyetiyle haklı çıkarıldığı yarı iletken temiz odaları için FEP
- Pürüzsüz, gözeneksiz kılıf yüzeyi — cilalı kalıp ekstrüzyonu: Kılıf yüzey kaplaması kozmetik bir özellik değildir — temiz oda kablosu için işlevsel bir gerekliliktir. Parlak, gözeneksiz yüzey (Ra <%1,0 μm), partikül yapışmasını en aza indirir ve kablonun temiz oda mendilleri ve IPA ile partikül salmadan veya kalıntı bırakmadan silinerek temizlenmesini sağlar
- Temiz oda uyumlu ambalaj — temiz odaya alınmak üzere çift torbalı: Kablo plastik makaralara sarılır, polietilen torbalarda kapatılır ve temiz odaya alınmak üzere çift torbaya konur. Dış torba gri alanda (temiz oda ön odası/hava kilidi) çıkarılır ve iç torba temiz odanın içinde çıkarılır. Kablo, harici kontaminasyon taşımadan temiz odaya girer
- ASTM E595 / SEMI E49 gaz salınımı testli: Kablo kılıfı ve izolasyon malzemeleri, yarı iletken endüstrisinin standart test yöntemlerine göre gaz salınımı açısından test edilir. Test raporu, TML'yi (<%1,0) ve CVCM'yi (<%0,1) niceliksel olarak verir ve kablosunun müşterinin temiz oda ISO sınıfı ve proses hassasiyeti için gaz salınımı limitlerini karşıladığını gösterir