Детальний Опис
Що таке кабель для чистих приміщень?
Кабель для чистих приміщень — це гнучкий багатожильний кабель, у якому кожен матеріал — ізоляція, заповнювач, зв'язувальна стрічка, оболонка, колірний концентрат і пакування — підібраний, випробуваний і контрольований для мінімізації забруднення середовища чистого приміщення. Кабель не виділяє частинок, які збільшували б кількість частинок у чистому приміщенні (ISO 14644-1). Він не виділяє леткі органічні сполуки (VOC), які конденсувалися б на поверхнях пластин, оптичних компонентах чи поверхнях контакту з фармацевтичною продукцією (ISO 14644-8). Він не містить силікону (PDMS — полідиметилсилоксану), який забруднював би напівпровідникові фотолітографічні процеси. А оболонка підібрана так, щоб витримувати мийні та стерилізаційні хімікати, що використовуються в конкретному чистому приміщенні.
Стандартний промисловий кабель, встановлений у напівпровідниковому чистому приміщенні, провалив би всі випробування: пластифікатори PVC-оболонки мігрують на поверхню, затримуючи частинки; PVC виділяє фталати та інші VOC; поверхня оболонки мікроскопічно шорстка, що створює місця прикріплення частинок; у виробничому процесі використовуються силіконові мастила при волочінні та скручуванні жил; а дерев'яна котушка та картонне пакування вносять волокна та частинки в чисте приміщення. Кабель для чистих приміщень спроєктований так, щоб усунути кожне з цих джерел забруднення.
Чому важлива відсутність силікону — проблема забруднення у напівпровідниках
У напівпровідниковому виробництві одна молекула силікону (PDMS, молекулярна маса 300–10000 г/моль), що потрапила на пластину під час фотолітографії, створює дефект, який може зробити весь кристал непрацездатним. PDMS є особливо проблемним забруднювачем, оскільки:
- Він надзвичайно поверхнево активний — моношар PDMS на поверхні пластини змінює поверхневу енергію та перешкоджає рівномірному нанесенню фоторезисту
- Він леткий за підвищених температур напівпровідникових технологічних камер (CVD, PVD, травлення) і може мігрувати із забрудненої поверхні на чисту пластину через газову фазу
- Його важко видалити — PDMS не розчинний у воді та потребує агресивного очищення (піраньєва суміш — H₂SO₄/H₂O₂) для видалення з поверхонь
- Він усюдисущий — силікон використовується як мастило в багатьох промислових процесах, включно зі стандартним виробництвом кабелів (силіконова олія на філь'єрах волочіння жил, силіконові антиадгезійні засоби на екструзійному оснащенні)
Чому варто обрати кабелі Yichi для чистих приміщень
- Відсутність силікону, перевірена аналізом FTIR/XRF за запитом: кожен матеріал кабелю перевіряється хімічним аналізом на відсутність силікону. Готовий кабель випробовується для підтвердження того, що під час виробничого процесу не внесено силіконового забруднення. До кожної партії кабелю надається сертифікат відсутності силікону
- Оболонка PUR, LSZH або FEP — обирайте за хімічним середовищем чистого приміщення: PUR для фармацевтичних, біотехнологічних чистих приміщень і чистих приміщень медичних виробів, де кабель контактує з парами перекису водню та четвертинними амонієвими дезінфектантами. LSZH для чистих приміщень, де пріоритетом є пожежна безпека, а хімічний вплив помірний. FEP для напівпровідникових чистих приміщень, де потрібна найвища хімічна чистота та найнижче газовиділення, а цінова надбавка виправдана вартістю дефектів пластин, спричинених забрудненням кабелю
- Гладка, не пориста поверхня оболонки — екструзія полірованою філь'єрою: якість поверхні оболонки — не косметична характеристика, а функціональна вимога для кабелю чистих приміщень. Глянцева, не пориста поверхня (Ra <1,0 мкм) мінімізує адгезію частинок і дозволяє протирати кабель серветками для чистих приміщень та IPA без виділення частинок чи залишків
- Пакування, сумісне з чистим приміщенням — подвійний пакет для внесення: кабель намотується на пластикові котушки, запаковується в поліетиленові пакети та упаковується в подвійний пакет для внесення в чисте приміщення. Зовнішній пакет знімається в сірій зоні (передкамера чистих приміщень/повітряний шлюз), а внутрішній — усередині чистого приміщення. Кабель входить у чисте приміщення, не приносячи зовнішнього забруднення
- Випробування на газовиділення ASTM E595 / SEMI E49: матеріали оболонки та ізоляції кабелю випробовуються на газовиділення згідно зі стандартними методами напівпровідникової промисловості. Звіт про випробування кількісно визначає TML (<1,0%) і CVCM (<0,1%) та демонструє, що кабель відповідає межам газовиділення для класу чистоти та чутливості процесів замовника