Penerangan Terperinci
Apakah Kabel Bertaraf Bilik Bersih?
Kabel bertaraf bilik bersih ialah kabel berbilang teras fleksibel di mana setiap bahan — penebat, pengisi, pita pengikat, sarung, konsentrat warna dan pembungkusan — dipilih, diuji dan dikawal untuk meminimumkan pencemaran persekitaran bilik bersih. Kabel tidak meluruhkan zarah yang akan meningkatkan kiraan zarah bilik bersih (ISO 14644-1). Ia tidak mengeluarkan gas sebatian organik meruap (VOC) yang akan terpeluwap pada permukaan wafer, komponen optik atau permukaan sentuhan produk farmaseutikal (ISO 14644-8). Ia tidak mengandungi silikon (PDMS — polidimetilsiloksan) yang akan mencemarkan proses fotolitografi semikonduktor. Dan sarung dirumus untuk menahan bahan kimia pembersih dan pensterilan yang digunakan dalam aplikasi bilik bersih tertentu.
Kabel industri standard yang dipasang dalam bilik bersih semikonduktor akan gagal pada semua aspek: pemplastik sarung PVC berhijrah ke permukaan, memerangkap zarah; PVC mengeluarkan gas ftalat dan VOC lain; permukaan sarung kasar secara mikroskopik, menyediakan tapak pelekatan zarah; proses pembuatan menggunakan pelincir silikon pada penarikan dan pemilinan konduktor; dan gelendong kayu serta pembungkusan kadbod memperkenalkan gentian dan zarah ke dalam bilik bersih. Kabel bilik bersih direka untuk menghapuskan setiap sumber pencemaran ini.
Mengapa Bebas Silikon Penting — Masalah Pencemaran Semikonduktor
Dalam pembuatan semikonduktor, satu molekul silikon (PDMS, berat molekul 300–10 000 g/mol) yang mendarat pada wafer semasa fotolitografi mencipta kecacatan yang boleh menjadikan keseluruhan die tidak berfungsi. PDMS ialah bahan cemar yang amat bermasalah kerana:
- Ia sangat aktif permukaan — satu monolit PDMS pada permukaan wafer mengubah tenaga permukaan dan menghalang salutan fotoresist seragam
- Ia meruap pada suhu tinggi ruang proses semikonduktor (CVD, PVD, etsa) dan boleh berhijrah dari permukaan tercemar ke wafer bersih melalui fasa gas
- Ia sukar ditanggalkan — PDMS tidak larut air dan memerlukan pembersihan agresif (larutan piranha — H₂SO₄/H₂O₂) untuk menanggalkan dari permukaan
- Ia di mana-mana — silikon digunakan sebagai pelincir dalam banyak proses industri, termasuk pembuatan kabel standard (minyak silikon pada acuan penarikan konduktor, agen pelepas silikon pada perkakas ekstrusi)
Mengapa Pilih Kabel Bertaraf Bilik Bersih Yichi
- Bebas silikon disahkan — analisis FTIR/XRF atas permintaan: Setiap bahan dalam kabel disahkan bebas silikon oleh analisis kimia. Kabel siap diuji untuk mengesahkan tiada pencemaran silikon diperkenalkan semasa proses pembuatan. Sijil bebas silikon disediakan dengan setiap kelompok kabel
- Sarung PUR, LSZH atau FEP — pilih untuk persekitaran kimia bilik bersih: PUR untuk bilik bersih farmaseutikal, bioteknologi dan peranti perubatan di mana kabel terdedah kepada wap hidrogen peroksida dan disinfektan ammonium kuaternari. LSZH untuk bilik bersih di mana keselamatan kebakaran ialah keutamaan dan pendedahan kimia sederhana. FEP untuk bilik bersih semikonduktor di mana ketulenan kimia tertinggi dan pengeluar gas terendah diperlukan dan premium kos wajar oleh kos kecacatan wafer yang disebabkan oleh pencemaran kabel
- Permukaan sarung licin tidak berliang — ekstrusi acuan digilap: Kemasan permukaan sarung bukan ciri kosmetik — ia ialah keperluan berfungsi untuk kabel bilik bersih. Permukaan berkilat tidak berliang (Ra <1.0 μm) meminimumkan pelekatan zarah dan membolehkan kabel dilap bersih dengan pengelap bilik bersih dan IPA tanpa melepaskan zarah atau meninggalkan sisa
- Pembungkusan serasi bilik bersih — dibeg dua kali untuk kemasukan bilik bersih: Kabel digulung pada gelendong plastik, dimeterai dalam beg polietilena dan dibeg dua kali untuk kemasukan bilik bersih. Beg luar ditanggalkan di kawasan kelabu (bilik perantaraan/kunci udara bilik bersih), dan beg dalam ditanggalkan di dalam bilik bersih. Kabel memasuki bilik bersih tanpa membawa pencemaran luaran
- Pengeluar gas diuji ASTM E595 / SEMI E49: Bahan sarung dan penebat kabel diuji untuk pengeluar gas mengikut kaedah ujian standard industri semikonduktor. Laporan ujian mengkuantifikasi TML (<1.0%) dan CVCM (<0.1%) serta menunjukkan bahawa kabel memenuhi had pengeluar gas untuk kelas ISO bilik bersih dan kepekaan proses pelanggan