Kabel pro čisté prostory — nízkoemisní kabel s nízkými částicemi, bez obsahu silikonu, s hladkým pláštěm LSZH nebo PUR dle ISO 14644 pro napájení, řízení a přístrojové vedení zařízení polovodičových továren, farmaceutického, biotechnologického a přesného průmyslu
Průmyslové, Důlní a Řídicí Kabely /Kabely pro čisté prostory

Kabel pro čisté prostory — nízkoemisní kabel s nízkými částicemi, bez obsahu silikonu, s hladkým pláštěm LSZH nebo PUR dle ISO 14644 pro napájení, řízení a přístrojové vedení zařízení polovodičových továren, farmaceutického, biotechnologického a přesného průmyslu

Kabel pro čisté prostory: kompatibilní s ISO 14644, nízké odplynění, nízký obsah částic, bez silikonu. Hladký plášť LSZH nebo PUR, vícežilový ohebný. Pro elektroinstalaci zařízení polovodičových továren, farmacie, biotechnologií. Bez vylučování částic, materiály vhodné pro čisté prostory. CE, RoHS.

Hlavní Vlastnosti

Kompatibilita s čistými prostory ISO 14644 — materiály kabelu, povrchová úprava pláště a balení jsou vybírány a kontrolovány tak, aby se minimalizoval vznik částic, odplynění a kontaminace prostředí čistého prostoru; kabel nevylučuje vlákna, částice ani chemické kontaminanty, které by ohrozily klasifikační třídu ISO čistého prostoru
Hladký, neporézní plášť PUR nebo LSZH bez vylučování částic — povrch pláště je vytlačován s hladkým, lesklým povrchem, který nezachycuje částice a lze jej otřít čisticími prostředky vhodnými pro čisté prostory; PVC pláště (obsahující změkčovadla, která migrují na povrch a zachycují částice) a opletené pláště (které uvolňují vlákna) nejsou pro čisté prostory vhodné
Bez obsahu silikonu — kabel neobsahuje žádnou silikonovou pryž, silikonová maziva ani silikonová separační činidla v žádné součásti; silikonové odplynění (nízkomolekulární siloxany) kondenzuje na povrchu destiček v polovodičových továrnách a způsobuje vady při fotolitografii a nanášení tenkých vrstev; kabel bez silikonu je pro polovodičové čisté prostory povinný
Nízké odplynění — materiály pláště, izolace a výplně jsou formulovány a testovány na nízkou emisi těkavých organických látek (VOC) podle SEMI E49 / ASTM E595 / ISO 14644-8; odplyněné organické sloučeniny kondenzují na optických površích, površích destiček a kontaktních površích farmaceutických produktů a způsobují kontaminaci
Plášť LSZH nebo PUR bez halogenů — LSZH pro požární bezpečnost v uzavřených čistých prostorech, kde by halogenové kyselé plyny z požáru PVC kabelu kontaminovaly celý čistý prostor a vyžadovaly měsíce dekontaminace; PUR pro aplikace, kde je kabel vystaven čisticím a sterilizačním chemikáliím používaným ve farmaceutických a biotechnologických čistých prostorech (páry peroxidu vodíku, kyselina peroctová, isopropylalkohol)
Vícežilová ohebná konstrukce s řízeným vnějším průměrem — kabel je navržen pro vedení ve stísněných prostorech polovodičových procesních nástrojů, farmaceutických plnicích linek a zařízení čistých prostor, kde je prostor omezený a kabel nesmí bránit laminárnímu proudění vzduchu
Balené v materiálech vhodných pro čisté prostory — kabel je dodáván na plastových (nikoli dřevěných) cívkách, zapečetěn v polyethylenových sáčcích, přičemž příruby cívek a balení neobsahují materiály uvolňující částice (lepenku, papírové štítky, volná vlákna); kabel lze vnést do čistého prostoru přímo bez externího dekontaminačního kroku
Odolnost proti čisticím prostředkům čistých prostor — plášť PUR nebo LSZH odolává opakovanému otírání isopropylalkoholem (IPA), peroxidem vodíku a kvartérními amoniovými dezinfekčními prostředky bez degradace povrchu, praskání nebo zvýšeného vzniku částic

Použití

Zařízení polovodičové výroby — kabel pro čisté prostory pro roboty manipulující s destičkami, přístrojové vybavení procesních komor, připojení vakuových čerpadel a vnitřní vedení litografických nástrojů, kde by silikonové odplynění způsobovalo vady destiček a kabel musí přežít chemické a tepelné prostředí čistého prostoruFarmaceutické plnicí a balicí linky — kabel pro aseptické plnicí stroje, nasazovací stroje, etiketovací zařízení a dopravníkové systémy ve farmaceutických čistých prostorech třídy ISO 5–7; kabel musí odolávat parám peroxidu vodíku (VHP) používaným ke sterilizaci místnosti a zařízení a být kompatibilní s čisticími a dezinfekčními protokoly čistého prostoruBiotechnologické a přírodovědné laboratoře — kabel pro připojení centrifuga, inkubátoru, PCR přístrojů a analytických přístrojů v biotechnologických čistých prostorech, kde kabel nesmí odplyňovat sloučeniny, které by kontaminovaly biologické vzorky nebo rušily citlivá analytická měřeníVýroba zdravotnických prostředků — kabel pro montážní a testovací zařízení v čistých prostorech výroby zdravotnických prostředků (katétry, implantáty, chirurgické nástroje), kde prostředí čistého prostoru vyžaduje kabel s nízkým obsahem částic a chemickou odolnostíVýroba plochých displejů a fotovoltaiky — kabel pro čisté prostory pro procesní nástroje a systémy manipulace s materiálem ve výrobních závodech FPD a solárních článků, kde kabel nesmí kontaminovat skleněný substrát ani křemíkovou destičku částicemi, odplyněnými organickými látkami nebo silikonemLetectví a montáž přesné optiky — kabel pro montáž a testování satelitních komponent, optických systémů a přesných mechanických sestav v čistých prostorech, kde musí kabel splňovat stejné normy kontroly kontaminace jako montované výrobkyAseptické zpracování potravin a nápojů — kabel pro elektrická připojení aseptických plnicích a balicích zařízení v čistých prostorech potravin a nápojů, kde kabel musí přežít mokré, chemicky agresivní čisticí prostředí (pěnové čištění, chemikálie CIP, tlakové oplachování vodou)

Technické Specifikace

Kompatibilita s čistými prostory ISO 14644-1 (Klasifikace čistých prostor — čistota částic); ISO 14644-8 (Klasifikace vzdušné molekulární kontaminace); SEMI E49 (Příručka pro hodnocení materiálů pro zařízení polovodičové výroby — odplynění a kompatibilita materiálů); kabel je navržen pro prostředí čistých prostor třídy ISO 3–7 (třída 3 pro polovodičové továrny, třída 5–7 pro farmacii a zdravotnické prostředky)
Bez obsahu silikonu Kabel neobsahuje žádný silikon (polydimethylsiloxan, PDMS) v izolaci, plášti, výplňových prvcích, barevných koncentrátech ani v žádném výrobním procesním činidle; obsah silikonu ověřen FTIR (Fourierovská infračervená spektroskopie) nebo XRF (rentgenová fluorescenční analýza) podle specifikace zákazníka
Nízké odplynění — ASTM E595 Celková ztráta hmotnosti (TML) <1,0 %; Shromážděná těkavá kondenzovatelná látka (CVCM) <0,1 % podle ASTM E595 (standardní zkouška odplynění materiálů pro kosmické aplikace — převzatá polovodičovým průmyslem pro kvalifikaci materiálů do čistých prostor); zkouška měří hmotnost materiálu, který se z kabelu odpaří ve vakuu při 125°C a zkondenzuje na chlazené sběrné desce
Jmenovité napětí 300/500 V (standard pro řídicí a přístrojové obvody zařízení čistých prostor); 0,6/1 kV k dispozici pro napájecí kabely procesních nástrojů
Materiál vodiče Holá měď nebo pocínovaná měď; IEC 60228 třída 5 ohebné lanování; vodič je čistý — bez povrchových oxidů a tažných maziv, která by přispívala k odplynění nebo kontaminaci částicemi
Průřezy vodičů 0,5, 0,75, 1,0, 1,5, 2,5, 4, 6, 10, 16, 25, 35 mm² pro napájení/řízení; 0,22, 0,34, 0,50, 0,75 mm² pro signály a přístrojové vedení
Počet žil 2–37 žil podle specifikace elektroinstalace zařízení zákazníka
Izolace žil — PP/PE (standard) Polypropylen (PP) nebo polyethylen (PE); 75–90°C; bez halogenů; tenkostěnná izolace minimalizuje vnější průměr kabelu při zachování dielektrické pevnosti pro 300/500 V
Izolace žil — FEP/PTFE (vysoká teplota/chemické prostředí) Fluorovaný etylen-propylen (FEP) nebo polytetrafluoretylen (PTFE); 150–200°C; pro vedení polovodičových procesních nástrojů, kde je kabel vystaven zvýšeným teplotám (komory pro zpracování destiček, ohřívané chemické přívodní linky) a agresivním chemikáliím (HF, HCl, NH₃, silan)
Identifikace žil Číslované černé žily podle VDE 0293 (standard pro elektroinstalaci zařízení čistých prostor); barevné odlišení na vyžádání; číslovací inkoust nebo barevná směs musí být vhodné pro čisté prostory — žádná nosná barviva na bázi silikonu
Celkové stínění (volitelně) Hliníková/polyesterová fólie (100% pokrytí) + oplet z pocínované mědi (≥85% pokrytí); pro ochranu citlivých senzorových a komunikačních signálů proti EMI v elektricky hlučném prostředí polovodičových procesních nástrojů (RF plazmové generátory, mikrovlnné zdroje, vysokofrekvenční spínané zdroje)
Vnější plášť — PUR (standard) Polyuretan (PUR TMPU); Shore A 85–90; bez halogenů; hladký, lesklý povrch; PUR je preferovaný plášť pro kabely do čistých prostor, protože kombinuje chemickou odolnost (proti čisticím a dezinfekčním prostředkům čistých prostor), mechanickou odolnost (proti otěru a ohybu) a kompatibilitu s čistými prostory (hladký povrch, nízký vznik částic, nízké odplynění)
Vnější plášť — LSZH Směs s nízkým kouřem a bez halogenů; hladký povrch; pro kabely do čistých prostor, kde je prioritou požární bezpečnost (bez halogenů v uzavřeném prostředí čistého prostoru) a není vyžadována chemická odolnost proti agresivním čisticím prostředkům
Vnější plášť — FEP (vysoká čistota) Fluorovaný etylen-propylen; 200°C; chemicky inertní; plášť s nejvyšší čistotou pro nejnáročnější polovodičové čisté prostory — FEP odplyňuje méně než jakýkoli jiný materiál pláště a je odolný vůči všem polovodičovým procesním chemikáliím
Barva pláště — standard Šedá, černá nebo modrá (standardní barvy zařízení čistých prostor); bílá na vyžádání pro farmaceutické čisté prostory, kde musí kabel splynout s bílými stěnami a panely zařízení
Povrchová úprava pláště Hladký, lesklý, neporézní; plášť je vytlačován leštěnou tryskou, aby vznikl povrch, který nezachycuje částice a lze jej otřít; drsnost povrchu Ra <1,0 μm podle ISO 4287 měřená na plášti kabelu
Zkouška částic — volitelně Hotový kabel lze testovat na uvolňování částic podle IEST-RP-CC003 (oděvy a utěrky pro čisté prostory) upravené pro kabel — kabel je ohýbán v řízeném prostředí a uvolněné částice jsou počítány a tříděny podle velikosti podle ISO 14644-1; protokol o zkoušce k dispozici na vyžádání
Max. stejnosměrný odpor vodiče při 20°C Podle IEC 60228 třída 5 pro daný průřez vodiče
Izolační odpor při 20°C ≥100 MΩ·km (při 500 V DC, 1 min)
Zkušební napětí (AC) — rutinní 2 000 V AC / 5 min (300/500 V); 3 500 V AC / 5 min (0,6/1 kV)
Teplota — plášť PUR (pevná montáž) -50°C až +90°C
Teplota — plášť PUR (pohyb) -30°C až +80°C
Teplota — plášť LSZH (pevná montáž) -30°C až +70°C
Minimální poloměr ohybu 7,5× vnější průměr kabelu (pohyb při instalaci zařízení); 4× vnější průměr kabelu (pevné vedení v zařízení)
Chemická odolnost — PUR Dobrá odolnost proti isopropylalkoholu (IPA), peroxidu vodíku (H₂O₂ až 30 %), kvartérním amoniovým dezinfekčním prostředkům a kyselině peroctové — standardní čisticí a sterilizační prostředky čistých prostor; PUR je napadán silnými kyselinami a zásadami — pro polovodičové čisté prostory s expozicí HF, HCl nebo NH₃ specifikujte plášť FEP
Zpomalení hoření — LSZH/PUR IEC 60332-1-2
Bez halogenů — PUR/LSZH IEC 60754-1 (HCl <0,5 %); PUR a LSZH jsou ze své podstaty bez halogenů
Balení — kompatibilní s čistými prostory Plastová cívka (polypropylen nebo ABS — žádné dřevo, které uvolňuje vlákna a částice); polyethylenový sáček s tepelným svárem (tepelný svar, ne lepicí páska uvolňující částice); příruby cívek čisté a bez otřepů; kabel je vyráběn, navíjen a balen v řízeném prostředí (CEA) a dvojitě balen pro vnesení do čistého prostoru
Certifikace CE; RoHS; protokol o zkoušce odplynění SEMI E49 / ASTM E595 k dispozici na vyžádání; certifikát bez obsahu silikonu k dispozici na vyžádání; výroba dle ISO 9001

Podrobný Popis

Co je kabel pro čisté prostory?

Kabel pro čisté prostory je ohebný vícežilový kabel, ve kterém je každý materiál — izolace, výplň, vázací páska, plášť, barevný koncentrát a balení — vybírán, testován a kontrolován tak, aby se minimalizovala kontaminace prostředí čistého prostoru. Kabel neuvolňuje částice, které by zvyšovaly počet částic v čistém prostoru (ISO 14644-1). Neodplyňuje těkavé organické látky (VOC), které by kondenzovaly na površích destiček, optických součástek nebo kontaktních površích farmaceutických produktů (ISO 14644-8). Neobsahuje silikon (PDMS — polydimethylsiloxan), který by kontaminoval polovodičové fotolitografické procesy. A plášť je formulován tak, aby odolával čisticím a sterilizačním chemikáliím používaným v konkrétní aplikaci čistého prostoru.

Standardní průmyslový kabel instalovaný v polovodičovém čistém prostoru by selhal ve všech ohledech: změkčovadla z PVC pláště migrují na povrch a zachycují částice; PVC odplyňuje ftaláty a jiné VOC; povrch pláště je mikroskopicky drsný a poskytuje místa pro uchycení částic; výrobní proces používá silikonová maziva při tažení a lanování vodičů; a dřevěná cívka s kartonovým balením vnáší do čistého prostoru vlákna a částice. Kabel pro čisté prostory je navržen tak, aby eliminoval každý z těchto zdrojů kontaminace.

Proč záleží na absenci silikonu — problém kontaminace v polovodičovém průmyslu

V polovodičové výrobě vytvoří jediná silikonová molekula (PDMS, molekulová hmotnost 300–10 000 g/mol), která dopadne na destičku během fotolitografie, vadu, jež může učinit celý čip nefunkční. PDMS je obzvláště problematický kontaminant, protože:

  • Je extrémně povrchově aktivní — monovrstva PDMS na povrchu destičky mění povrchovou energii a zabraňuje rovnoměrnému nanesení fotorezistu
  • Je těkavý při zvýšených teplotách polovodičových procesních komor (CVD, PVD, leptání) a může migrovat z kontaminovaného povrchu na čistou destičku plynou fází
  • Je obtížně odstranitelný — PDMS není rozpustný ve vodě a vyžaduje agresivní čištění (piranha roztok — H₂SO₄/H₂O₂) k odstranění z povrchů
  • Je všudypřítomný — silikon se používá jako mazivo v mnoha průmyslových procesech, včetně standardní výroby kabelů (silikonový olej na tažných průvlačnicích, silikonová separační činidla na extrudérních nástrojích)
Kabel pro čisté prostory vyrobený z materiálů a procesů bez silikonu eliminuje toto riziko kontaminace. Certifikace „bez silikonu" znamená, že každý materiál v kabelu — od měděného vodiče po barevný koncentrát pláště — byl ověřen analýzou FTIR nebo XRF, že neobsahuje žádný detekovatelný silikon. Výrobní proces používá nesilikonová maziva a separační činidla. A kabel je testován jako hotový výrobek, aby se potvrdilo, že během výroby nebyla zavedena žádná silikonová kontaminace.

Proč zvolit kabely Yichi pro čisté prostory

  • Ověřeno bez silikonu — analýza FTIR/XRF na vyžádání: Každý materiál v kabelu je chemickou analýzou ověřen jako bezsilikonový. Hotový kabel je testován, aby se potvrdilo, že během výrobního procesu nebyla zavedena žádná silikonová kontaminace. Ke každé šarži kabelu je dodáván certifikát bez silikonu
  • Plášť PUR, LSZH nebo FEP — vyberte podle chemického prostředí čistého prostoru: PUR pro farmaceutické, biotechnologické a zdravotnické čisté prostory, kde je kabel vystaven parám peroxidu vodíku a kvartérním amoniovým dezinfekčním prostředkům. LSZH pro čisté prostory, kde je prioritou požární bezpečnost a chemická expozice je mírná. FEP pro polovodičové čisté prostory, kde je vyžadována nejvyšší chemická čistota a nejnižší odplynění a cenová přirážka je ospravedlnitelná náklady na vady destiček způsobené kontaminací kabelem
  • Hladký, neporézní povrch pláště — vytlačování leštěnou tryskou: Povrchová úprava pláště není kosmetická charakteristika — je to funkční požadavek pro kabel do čistého prostoru. Lesklý, neporézní povrch (Ra <1,0 μm) minimalizuje přilnavost částic a umožňuje otření kabelu utěrkami pro čisté prostory a IPA bez uvolňování částic nebo zanechávání zbytků
  • Balení kompatibilní s čistými prostory — dvojité balení pro vnesení do čistého prostoru: Kabel je navinut na plastových cívkách, zapečetěn v polyethylenových sáčcích a dvojitě balen pro vnesení do čistého prostoru. Vnější sáček se odstraňuje v šedé zóně (předsíň/airlock čistého prostoru), vnitřní sáček se odstraňuje uvnitř čistého prostoru. Kabel vstupuje do čistého prostoru bez vnější kontaminace
  • Test odplynění ASTM E595 / SEMI E49: Materiály pláště a izolace kabelu jsou testovány na odplynění podle standardních testovacích metod polovodičového průmyslu. Protokol o zkoušce kvantifikuje TML (<1,0 %) a CVCM (<0,1 %) a dokládá, že kabel splňuje limity odplynění pro třídu ISO čistého prostoru a procesní citlivost zákazníka

Poptávka Produktu

Produkt: Kabel pro čisté prostory — nízkoemisní kabel s nízkými částicemi, bez obsahu silikonu, s hladkým pláštěm LSZH nebo PUR dle ISO 14644 pro napájení, řízení a přístrojové vedení zařízení polovodičových továren, farmaceutického, biotechnologického a přesného průmyslu

Přidat technické specifikace (volitelné)

Čím podrobnější informace nám poskytnete, tím rychleji a přesněji připravíme nabídku.

Není vybrán žádný soubor

Soubor PDF, Office, obrázek nebo CAD — až 5 MB

Potřebujete Pomoc?

Certifikace

ISO 9001
Kvalita
CE
Evropská
RoHS
Environmentální
TÜV
Certifikace

Potřebujete Nabídku pro Tento Produkt?

Pošlete nám své požadavky a obdržíte podrobnou nabídku do 24 hodin.