Részletes Leírás
Mi az a tisztatéri minősítésű kábel?
A tisztatéri minősítésű kábel hajlékony többmagos kábel, amelyben minden anyag — szigetelés, töltőanyag, kötözőszalag, köpeny, színkoncentrátum és csomagolás — úgy van kiválasztva, vizsgálva és szabályozva, hogy minimalizálja a tisztatéri környezet szennyezését. A kábel nem bocsát ki olyan részecskéket, amelyek növelnék a tisztatér részecskeszámát (ISO 14644-1). Nem gázosít ki olyan illékony szerves vegyületeket (VOC), amelyek lecsapódnának az ostyafelületeken, az optikai alkatrészeken vagy a gyógyszertermék érintkező felületein (ISO 14644-8). Nem tartalmaz szilikont (PDMS — polidimetilsziloxán), amely szennyezné a félvezető fotolitográfiai folyamatokat. A köpeny pedig úgy van összeállítva, hogy ellenálljon az adott tisztatéri alkalmazásban használt tisztító- és sterilizáló vegyszereknek.
Egy standard ipari kábel félvezető tisztatérbe szerelve minden szempontból megbukna: a PVC köpeny lágyítói a felületre vándorolnak és megfogják a részecskéket; a PVC ftalátokat és más VOC-ket gázosít ki; a köpenyfelület mikroszkopikusan érdes, részecskemegkötő helyeket biztosít; a gyártási folyamat szilikon kenőanyagokat használ a vezetőhúzáshoz és a sodráshoz; a fadob és a kartondoboz pedig szálakat és részecskéket visz a tisztatérbe. A tisztatéri kábel ezen szennyezőforrások mindegyikének kiküszöbölésére készül.
Miért fontos a szilikonmentesség — a félvezető-szennyezés problémája
A félvezetőgyártásban egyetlen, az ostyára fotolitográfia közben kerülő szilikonmolekula (PDMS, 300–10 000 g/mol molekulatömeg) olyan hibát hoz létre, amely az egész lapka működésképtelenségét okozhatja. A PDMS azért különösen problémás szennyező:
- Rendkívül felületaktív — az ostyafelületen lévő PDMS monoréteg megváltoztatja a felületi energiát, és megakadályozza a fotoreziszt egyenletes felvitelét
- Illékony a félvezető folyamatkamrák (CVD, PVD, marás) magas hőmérsékletén, és gázfázison keresztül a szennyezett felületről tiszta ostyára vándorolhat
- Nehezen távolítható el — a PDMS nem vízben oldódó, és agresszív tisztítást (piranha oldat — H₂SO₄/H₂O₂) igényel a felületekről történő eltávolításhoz
- Mindent átható — a szilikont sok ipari folyamatban kenőanyagként használják, beleértve a standard kábelgyártást is (szilikonolaj a vezetőhúzó szerszámokon, szilikon formaleválasztók az extrudálószerszámokon)
Miért válassza a Yichi tisztatéri minősítésű kábeleit?
- Szilikonmentesség igazolva — FTIR/XRF elemzés kérésre: A kábel minden anyagát vegyi elemzéssel igazoltan szilikonmentesnek ellenőrizzük. A kész kábelt vizsgáljuk annak megerősítésére, hogy a gyártási folyamat során nem került be szilikon-szennyezés. Minden kábeltételhez szilikonmentességi tanúsítványt adunk
- PUR, LSZH vagy FEP köpeny — válasszon a tisztatér vegyi környezete szerint: PUR gyógyszeripari, biotechnológiai és orvostechnikai tisztaterekhez, ahol a kábel hidrogén-peroxid gőznek és kvaterner ammónium fertőtlenítőszereknek van kitéve. LSZH olyan tisztaterekhez, ahol a tűzbiztonság az elsődleges és a vegyi expozíció mérsékelt. FEP félvezető tisztaterekhez, ahol a legnagyobb vegyi tisztaság és a legalacsonyabb kigázosodás szükséges, és az ártöbbletet a kábel-szennyezés okozta ostyahibák költsége indokolja
- Sima, nem porózus köpenyfelület — polírozott szerszámos extrudálás: A köpenyfelület kivitele nem kozmetikai jelleg — a tisztatéri kábel funkcionális követelménye. A fényes, nem porózus felület (Ra <1,0 μm) minimalizálja a részecske-tapadást, és lehetővé teszi a kábel tisztatéri törlőkendőkkel és IPA-val történő letörlését részecske-kibocsátás vagy maradékanyag nélkül
- Tisztatér-kompatibilis csomagolás — dupla zsákolás a tisztatérbe vitelhez: A kábelt műanyag dobokra tekerjük, polietilén zsákba hegesztjük, majd a tisztatérbe vitelhez dupla zsákolást kap. A külső zsákot a szürke zónában (tisztatéri előtér/ajtózsilip) távolítják el, a belső zsákot a tisztatéren belül. A kábel külső szennyezés nélkül lép be a tisztatérbe
- ASTM E595 / SEMI E49 kigázosodás-vizsgálat: A kábelköpeny és a szigetelőanyagok a félvezetőipar standard vizsgálati módszerei szerint kigázosodásra vizsgáltak. A vizsgálati jegyzőkönyv számszerűsíti a TML-t (<1,0%) és a CVCM-et (<0,1%), és igazolja, hogy a kábel megfelel a vásárló tisztatéri ISO osztályának és folyamatérzékenységének megfelelő kigázosodási határértékeknek